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 Winterbedingte Wasserverschmutzung legt Intel-Fab lahm

Fertigung | 29.01.2010, 08:23
Der harte Winter fordert nun auch Opfer in der Halbleiterei. Erwischt hat es dabei in den letzten Wochen Intel, im Nämlichen die schon ältere Fab10 in Leixlip, Irland. Aufgrund des lange anhaltenden Winters und Temperaturen von unter -10 ºC sahen sich die lokalen Räumdienste in Irland genötigt statt dem üblichen Steinsalz nach offiziellen Angaben in einem Fall mit ammoniumhaltigem Dünger zu streuen, um die Straßen befahrbar zu halten.

Dabei kam es erwartungsgemäß zu einer Verunreinigung des Grundwassers, wobei die Aussagen von offizieller Stelle lediglich von einer oberflächlichen Verunreinigung sprechen. Während es für die örtlichen Wasserversorger ein zwar anspruchsvolles, aber lösbares Problem darstellt, diese Verunreinigung auf Trinkwasserniveau zu reduzieren, stellt dies für die Halbleiterindustrie ein schwerwiegendes Problem dar.

In der Halbleiterfertigung werden große Mengen Wasser zur Aufbereitung von Ätzlösungen und zum Spülen nach den verschiedenen Prozessschritten verwendet. Dabei ist hochreines, vollständig deionisiertes (DI) Wasser, ohne Salze und ähnlichem notwendig. Diese Wasserqualität wird über Filteranlagen, Ionentauscher und weiterem Gerät am jeweiligen Gewinnungsort im Umfeld der Fab sichergestellt.

Die bereits ältere Fab 10 war in ihrem Design offenkundig nicht auf eine solche, für die Gegend untypische, Verunreinigung eingestellt, so dass bei den regelmäßigen Messungen unter Zuhilfenahme externer Analyselabors Ammonium im DI-Wasser festgestellt wurde und konsequenterweise die Fertigung eingestellt werden musste. Verschiedene irische Medien berichten übereinstimmend, dass der Betrieb erst nach Aufbau einer Versorgung durch Wassercontainer von externer Quelle wieder aufgenommen werden konnte.

Unklar ist, ob die modernere Fab24 von dem Halt in der Produktion ebenfalls betroffen war und wann die Situation wieder auf Normalbetrieb umgestellt werden kann.

[tm]





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